ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年,并于1994年通过开发世界上第一台紧凑型、高重复率、短脉冲准分子激光器在紫外激光技术方面取得了突破。
ATLEX-300-I系列激光器,ATLEX-500-I系列激光器,ATLEX-1000-I系列激光器,ATLEX-500-L系列激光器,ATLEX-1000-L系列激光器,ATLEX-300-FBG系列激光器,ATLEX-500-FBG系列激光器,ATLEX-LR系列激光器,ATLEX-S系列激光器
一、ATLEX-300-I系列激光器
产品特点:
高压固态脉冲发生器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷
用于系统集成的 RS-485、RS232、USB 和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:F2 波长:157nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:1mJ
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
气体介质:XeCl 波长:308nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:8mJ
气体介质:XeF 波长:351nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:7mJ
二、ATLEX-500-I系列激光器
产品应用:
高压固态脉冲发生器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷
用于系统集成的 RS-485、RS232、USB 和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:F2 波长:157nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:1mJ
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
气体介质:XeCl 波长:308nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:8mJ
气体介质:XeF 波长:351nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:7mJ
三、ATLEX-1000-I系列激光器
产品应用:
高压固态脉冲发生器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷
用于系统集成的 RS-485、RS232、USB 和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
四、ATLEX-500-L系列激光器
产品特点:
延长动态和静态气体寿命
风冷/可选液冷
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
便于气体处理的集成4阀系统
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
五、ATLEX-1000-L系列激光器
产品特点:
固态开关
延长动态和静态气体寿命
风冷/可选液冷
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
便于气体处理的集成4阀系统
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
六、ATLEX-300-FBG系列激光器
产品特点:
高压固态脉冲发生器
风冷/可选液冷,主动热管理
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
产品示例:
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
七、ATLEX-500-FBG系列激光器
产品特点:
高压固态脉冲发生器
风冷/可选液冷
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:ArF 波长:193 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10
气体介质:KrF 波长:248 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15
八、ATLEX-LR系列激光器
产品特点:
极快的脉冲上升时间和峰值功率密度
TMC(全金属陶瓷)容器
完全风冷的主动热管理
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:ArF 波长:193nm 最大脉冲能量:12mJ 脉冲持续时间:5ns
九、ATLEX-S系列激光器
产品特点:
超紧凑的尺寸
高压固态脉冲发生器
完全风冷的主动热管理
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
型号示例:
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:300Hz
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:500Hz
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:300Hz
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:500Hz
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